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    日本CANON ANELVA真空計M-833HG

    溫馨提示:以上參考價不是實際價格,訂貨時請與賣家確認(rèn)實時價格,謝謝!

    日本CANON ANELVA真空計M-833HG

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    南京易鳴機電設(shè)備有限公司   聯(lián)系人:韓經(jīng)理   手/機:189-0158-9530(VX同號)  Q/Q:197-914-3812


    南京易鳴銷售日本CANON真空計、離子規(guī) 原裝正品 品質(zhì)保證! 
    產(chǎn)品品牌:日本CANON
    產(chǎn)品名稱:真空計、離子規(guī)
    更多日本進口產(chǎn)品的詳細(xì)信息請聯(lián)系手機:189-0158-9530(VX同號)  Q/Q:197-914-3812 韓經(jīng)理

    具體規(guī)格型號如下所示:
    特長:
    ワイドな圧力測定範(fàn)囲
    10-7Pa~10Paまで、超高真空側(cè)の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領(lǐng)域まで測定可能
    高応答アナログ出力
    圧力値のアナログ信號出力は、100msec以內(nèi)と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能
    4つのエミッション電流設(shè)定モード
    高圧力領(lǐng)域側(cè)での使用時のフィラメント壽命改善など、用途に合わせ選択が可能

    特長:
    豊富な外部制御機能により完全な遠(yuǎn)隔操作が可能
    セットポイントを2點標(biāo)準(zhǔn)裝備
    最大4ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性が充実
    (注記:GP-IBオプションには未対応)
    RoHS、CEマーキングに対応

    用途:
    自動化真空裝置の圧力計測
    スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
    マルチチャンバシステムでの圧力測定
    一般真空裝置の圧力測定

    規(guī)格尺寸:
    型 名 M-833HG
    測定球 ミニチュアゲージMG-2シリーズ
    圧力表示範(fàn)囲 0.1×10-7~9.9×100Pa
    圧力表示 測定レンジ自動切換
    セットポイント 2點標(biāo)準(zhǔn)裝備(オープンコレクタ)
    D/A出力 0~10V:仮數(shù)部出力、指數(shù)部出力
    0~11V:複合出力又はLOG出力
    アナログ出力 APCモード設(shè)定時(0.1~2.5V)
    (エレクトロメータ出力) ノーマルモード設(shè)定時(0.1~1.6V)
    INPUT フィラメントON/OFF
    外部制御機能 デガスON/OFF
    (リモート操作) 等6種類の外部制御機能
    OUTPUT 6種類のステータス信號出力
    特殊機能 APC対応:レンジホールド機能
    エレクトロメータ出力機能
    寸法/質(zhì)量 H99×W209×D330、1.9kg
    所要電力 100~240VAC
    100VA以下、50/60Hz
    エミッション電流 10μA、100μA、1mA自動切換設(shè)定又は固定設(shè)定
    ガス出し グリッド通電加熱方式
    フィラメント切換 キー及び、リモートI/O操作
    フィラメント保護 オーバーレンジ設(shè)定値又はエミッション電流±50%の変動
    標(biāo)準(zhǔn)構(gòu)成 真空計本體(測定球及びケーブルは構(gòu)成品に含まれません)
    RoHS,CEマーキング 対応

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